UE MEMS (M2) : Systèmes microélectromécaniques

Bibliographie, par ordre de pertinence par rapport au contenu du cours :

[1] Chang Liu, Foundation of MEMS, Pearson Eductaion, Inc., New Jersey, 2006, ISBN 0-13-147286-0
[2] Stephen D. Senturia, Microsystem Design, 2001, Springer Science, ISBN 0-7923-7923-7246-8
[3] D. Galayko, Mémoire de thèse de doctorat, 2002
[4] V. K. Varadan, K. J. Vinoy, S. Gopalakrishnan, Smart Material Systems and MEMS, design and development technologies, John Wiley & Sons, 2006

Ces livres sont disponibles dans la bibliothèque de Jussieu (Informatique recherche ou physique recherche, à se renseigner sur le portail Jubil)

Programme du module

Les enseignements sont organisés en 7 créneaux de 4h qui ont lieu les vendredi matin, sauf le cours 3.

Cours 2. Introduction aux MEMS. Transduction capacitive, résonateurs MEMS à paramètres localisés. Résonateurs MEMS avec transducteurs, leurs modèles mathématique et électrique.

poly du cours 1-2

Introduction aux MEMS - transparents

Transparents du cours 1-2 : transduction électrostatique, résonateurs à paramètres localisés
Cours 3. Technologies de fabrication des MEMS (intervention de Philippe Basset de l'ESIEE).
Cours 4. Eléments de la mécanique du solide, résonateurs réels.
Cours 5. Application des MEMS: RF, capteurs résonants et inertiels.
Transparents du séminaire MEMS RF.
Transparents du cours "Capteur Inertiels".

TP1. Modélisation des MEMS par approche comportementale: transducteur capacitif, résonateur mécanique, nonlinéarités.

Fichiers de simulation Sujet
TP2, en 2 parties : Le TP-mini-projet consiste à une conception et modélisation d'un accéléromètre à boucle fermée. Pour comprendre le sujet, se référer aux documents suivants:

sujet partie 1

sujet partie 2
B. V. Amini, R. Abdolvand, F. Ayazi, A 4.5-mW Closed-Loop Sigma-Delta Micro-Gravity CMOS SOI Accelerometer, IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS, VOL. 41, NO. 12, DECEMBER 2006

L'exposé plus détaillé du sujet se trouve dans la thèse de doctorat: